半导体 - 陶瓷气浮平台
- 所属分类：半导体超精密运动平台
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主要特点及性能：
① 气浮设计
② 氧化铝陶瓷
③ 分体设计
④ 直线度平面度2um
⑤ 俯仰/橫摆1arcsec
⑥ 重复定位精度0.3um
主要应用：
① 激光划切
主要特点及性能：
① 气浮设计
② 氧化铝陶瓷
③ 分体设计
④ 直线度平面度2um
⑤ 俯仰/橫摆1arcsec
⑥ 重复定位精度0.3um
主要应用：
① 激光划切