新加坡 雅科贝思的超精密大理石运动平台采用超高精度线轨 & 气浮导轨的设计、 结合雅科贝思的专利技术的直线电机产品，能够提供给到国产设备商实现在半导体量检测领域先进封装等领域的各类型超精密大理石运动台产品(包含高洁净等级高的各类运动台)

半导体晶圆机械臂(WTR:Wafer Transfer Robot) 是半导体制造工厂(Fab厂)内全自动工艺设备和辅助量检测设备用于实现 晶圆片的自动搬运的核心关键子部件， 我们提供的WTR是可以满足【高稳定性】、【高洁净度】要求的各类搬运作业通常洁净等级和要求为:ISO Class 1~3不等，并且可以避免搬运过程中的Partcicle和静电对wafer造成污染和损伤。