半导体 - 真空精密平台
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主要特点及性能：
① 高通量和高分辨率晶圆表征系统
② 适用干1x10-7Torr真空级
③ 单位纳米级伺服抖动器
④ 低释气性和低发热的专利真空电机
⑤ 重复定位精度±0.3um
主要应用：
① 电子束检测，扫描电镜，
② 电子束光刻
主要特点及性能：
① 高通量和高分辨率晶圆表征系统
② 适用干1x10-7Torr真空级
③ 单位纳米级伺服抖动器
④ 低释气性和低发热的专利真空电机
⑤ 重复定位精度±0.3um
主要应用：
① 电子束检测，扫描电镜，
② 电子束光刻