半导体 - 高精密气浮平台
精密气浮是多功能的龙门平台，电机推力与龙门负载重心一致。使用大推力密度无铁芯AUM电机，适用于重载多工...
- 所属分类：半导体超精密运动平台
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主要特点及性能：
① 气浮导轨设计、整定时间短、整定速度快
② 整机运动台的精度高、0磨损
③ 二维平面度6um
④ 直线度平面度3um
⑤ 重复定位精度±0.4um
主要应用：
① 半导体检测量测
主要特点及性能：
① 气浮导轨设计、整定时间短、整定速度快
② 整机运动台的精度高、0磨损
③ 二维平面度6um
④ 直线度平面度3um
⑤ 重复定位精度±0.4um
主要应用：
① 半导体检测量测