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半导体 - 高速龙门平台

精密气浮龙门系列采用高推力有铁芯电机,单电机和双电机的配置均可。反馈采用非接触式的光学编码器
  • 所属分类:半导体超精密运动平台
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主要特点及性能:


① 高速度和高加速度,

峰值加速度:3G、最高速度:3m/s

 独特的卸力机架设计,整定时间短

④ 成熟机械解耦设计、散热性能优异


主要应用:


①  高精贴片