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半导体 - 精密机械平台

精密气浮龙门系列采用高推力有铁芯电机，单电机和双电机的配置均可。反馈采用非接触式的光学编码器

所属分类：半导体超精密运动平台
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详情介绍

主要特点及性能：

① 高精度机械导轨，静态和动态性能优异

② 重复定位精度:±0.75um

③ XY +ZTPR(Lift Pin)集成功能

④ 运动台整体运动带宽高，提升响应性能

关键词：

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