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半导体-精密机械运动平台

精密机械运动平台采用雅科贝思专利技术的无铁芯电机,结合高精度编码器反馈系统; 目前在售的VRG 系列标准...
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精密机械运动平台采用雅科贝思专利技术的无铁芯电机,结合高精度编码器反馈系统;

目前在售的VRG 系列标准高精度运动台已经大量应用在半导体贴装、半导体点胶等设备

设计特点:

① 采用雅科贝思无铁芯专利技术电机

② 稳定可靠的H型龙门结构,结合模态和实际优化的横梁结构

③ 较高的峰值推力和较快的响应时间

④ 整定时间短高效率