非接触式_伯努利【Circle】
【大面积保持】规格的特点
Stage(跨平台/机台)之间晶圆搬运时使用
超薄晶圆稳定吸附保持时使用
- 所属分类：晶圆搬运【非】接触式伯努利
- 点击次数：1669次
- 分享到：
- 在线咨询
- 详情介绍
【大面积保持】规格的特点
Stage(跨平台/机台)之间晶圆搬运时使用
超薄晶圆稳定吸附保持时使用
各类液体(研磨液/超纯水/抛光液/腐蚀液体)中实现浸入搬运的可能
【大面积保持】规格的特点
Stage(跨平台/机台)之间晶圆搬运时使用
超薄晶圆稳定吸附保持时使用
各类液体(研磨液/超纯水/抛光液/腐蚀液体)中实现浸入搬运的可能
