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非接触式伯努利【Chuck】

非接触式伯努利 Chuck

所属分类：晶圆搬运【非】接触式伯努利
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【Chuck】搭载伯努利的特点

超薄晶圆的Notch、Flat稳定旋转寻边时使用
晶圆量检测平台稳定吸附且非接触

关键词：非接触式伯努利

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