1993年 5寸50μm厚晶圆实现搬运
2000年 非接触搬送機器「KUMADE」開発
2001年 8寸50μm厚晶圆实现搬运
2006年 开始晶圆背面减薄服务窓口業務
2007年 KUMADE全球专利获取
2008年 极薄晶圆专用KUMADE「SF系列 Fork」发布・12寸20μm厚晶圆实现搬运
2010年 光伏电池片专用KUMADE发布、「山梨産業大賞優秀賞」受賞
2011年 12寸10μm厚晶圆实现搬运
2019年 KUMADE「EC系列」专利获取
2024年 日本ロボット(Robot)大賞「中小企業庁長官賞」受賞(日本Fanuc一起领奖)
2025年 日本「中小企業企業優秀新技術・新製品賞」「優秀賞」受賞